รายละเอียดคำอธิบาย

[คุณสมบัติ]
•ความเข้ากันได้ของโพรบ: ระบบตรวจจับภาพ VA-3200 ได้รับการออกแบบให้ติดตั้งบนเครื่องสอบสวนซึ่งช่วยให้วิศวกรและผู้ปฏิบัติงานสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมอุปกรณ์ที่คุ้นเคย
•ลดความซับซ้อนของกระบวนการทำงาน: การรวมระบบและเครื่องทดสอบเข็มช่วยให้ผู้ใช้สามารถตั้งค่าพารามิเตอร์ภาพโดยใช้อินเทอร์เฟซการทำงานที่มีอยู่ซึ่งช่วยลดเส้นโค้งการเรียนรู้ของระบบใหม่
• หลีกเลี่ยงความเสี่ยงของการแตกหักของเวเฟอร์: ป้องกันความเสี่ยงของการแตกหักของเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเนื่องจากไม่จำเป็นต้องสัมผัสเวเฟอร์โดยตรงเพื่อเลือกและวาง
•เพิ่มความสะดวกในการใช้งาน: วิศวกรและผู้ปฏิบัติงานที่คุ้นเคยกับเครื่องทดสอบเข็มสามารถเริ่มต้นได้ง่ายขึ้นรักษาประสิทธิภาพและความปลอดภัยของกระบวนการตรวจสอบ

[ข้อดีของผลิตภัณฑ์]
1. การจับภาพคุณภาพสูง
◦Line Scan Camera: ด้วยกล้อง Line Scan จะให้มุมมองขนาดใหญ่ (FOV) และความสามารถในการสแกนที่รวดเร็วซึ่งสามารถจับภาพได้อย่างสมบูรณ์ของเวเฟอร์ทั้งหมดในระยะเวลาอันสั้น
◦เลนส์ 3X: ทำงานร่วมกับเลนส์กำลังสูงสามารถสร้างภาพที่มีคุณภาพสูงซึ่งช่วยเพิ่มอัตราการรับรู้ของลักษณะข้อบกพร่องได้อย่างมีนัยสำคัญ
2. การตรวจสอบข้อบกพร่องที่มีความแม่นยำสูง
◦ความแม่นยำในการตรวจจับถึง5μm: ด้วยความสามารถในการตรวจจับความแม่นยำสูงสามารถระบุข้อบกพร่องเล็ก ๆ น้อย ๆ บนพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำรวมถึงสิ่งแปลกปลอม (อนุภาค), รอยขีดข่วน (รอยขีดข่วน), ความผิดปกติของแผ่นและความผิดปกติของบล็อกนูน